MMF加速度計包含通用型、高精度兩個系列。主要用于測量三軸加速度的傳感器,三軸中的每一軸加速度傳感器均采用MEMS芯片,具有高性能、低價位、高可靠性和高封裝堅固性,并具備溫度傳感器輸出、自檢測功能,可實現溫補和BIT。
本加速度計由檢測質量、支承、電位器、彈簧、阻尼器和殼體組成。檢測質量受支承的約束只能沿一條軸線移動,這個軸常稱為輸入軸或敏感軸。當儀表殼體隨著運載體沿敏感軸方向作加速運動時,根據牛頓定律,具有一定慣性的檢測質量力圖保持其原來的運動狀態不變。它與殼體之間將產生相對運動,使彈簧變形,于是檢測質量在彈簧力的作用下隨之加速運動。當彈簧力與檢測質量加速運動時產生的慣性力相平衡時,檢測質量與殼體之間便不再有相對運動,這時彈簧的變形反映被測加速度的大小。電位器作為位移傳感元件把加速度信號轉換為電信號,以供輸出。加速度計本質上是一個一自由度的振蕩系統,須采用阻尼器來改善系統的動態品質。
MMF加速度計的性能指標:
1、按照IEEE 1293-1998 12.3.8的規定在20℃時測量48小時;測量前穩定1小時。
2、1年穩定性根據IEEE 528-2001定義為:上電/上電,存儲于-55℃和85℃,在-40℃~125℃之間T循環,-55℃~85℃掉電干擾、振動和沖擊。
3、溫度系數指在-40~20℃范圍內,在此范圍內輸出表現典型值呈線性。
4、帶寬定義為靈敏度降低小于3dB的頻率范圍。